烧结炉简介机器日常维修保养_机械设备日常维修保养

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烧结炉简介机器日常维修保养（2）

前言：集成电路所使用的管壳封装制作过程中有一道关键工艺是玻璃绝缘子的烧结。当未烧的绝缘子要进入９６０℃左右的高温烧结炉烧结成形，为防止合金管壳在炉内的 氧化，必须通入可控气氛进行保护。这一工序过去是由充满高纯度（９９．９９９％）氮气的密封石英管式烧结炉来完成，这种方式不适于批量生产，我们应信息产 业部电子第４０所的要求，１９９８年４月为其研制了一台氮氢链式烧结炉。２设备主要性能HNL－１２０氮氢链式烧结炉主要用于烧结集成电路封装管壳，贱金 属厚膜电路，金属退火材料等，其主要技术参数如下：最高炉温／℃１０５０工作温度／℃９６０炉温均匀度／℃≤±３空炉升温时间／h≤１．５额定功率 ／kW５０传送带宽／mm１２０传送带速／m·h－１０．８～５氮气耗量／m３·h－１max６氢气耗量／m３·h－１max０．６冷却水用量 ／m３·h－１２（约０．２～０．３MPa）３结构特点要实现金属的无氧化烧结，炉膛内氧含量要达到１０×１０－６，所用保护气氛氮气源浓度最高只有 ９９．９９５％～９９．９９９％，加上工件入炉时网带带入的氧，所以即使炉两端进出口采取气幕隔离方法，单纯的氮基中性加热气氛

也达不到管壳的无氧化烧结

1.4一般维修 1.4.1灯变更程序

当加热元件需要改变，必须遵守下列程序。此过程可以防止过早元素的失败和漏气。图1.4.1.1灯示意图显示Kaowool 1.4.1.1请确定所有的电源是完全从系统中删除，所有指示灯熄灭。

删除所有侧盖，室门和元素端盖完全公开所有发热元件终端。为防止放电冲击，仔细短的帧，分别向码头灯区，以消除任何电容充电。

1.4.1.2使用两个3 / 8英寸扳手，扳手同一个元素下面的螺母，同时消除导线与其他扳手顶螺母。做一个元素只有结束这个。

1.4.1.3使用欧姆表，并确认灯丝是开放的。

如果元素是坏的，螺母和垫圈取下。请注意，一个不能确定，在一般情况下，如果一个元素是通过视觉检查坏外加电源元素或由欧姆表内电路检查。

1.4.1.4删除在两个陶瓷完元素和旧包装材料。Kaowool 2.3“

陶瓷密封腔室灯 加热元件0.6“

它是绝对必要的，两个新的绝缘1.4.1.5在试图安装一个新的元素，材料可使用作品的包装在灯泡两端的材料。

注意：如果不这样做会造成严重的空气泄漏，造成个人资料的恶化。

1.4.1.6在安装灯，确认陶瓷）是完整的，红色硅酮密封胶是抱着陶瓷。G.E.广播电视大学，106型是用在这里。这也是必要的，以防止漏气。

从纸盒中取出的元素，1.4.1.7 1.3.1.5和1.3.1.6项目后得到满足，小心不要用裸露的手指触摸石英。

盐在身体上的油会导致多样化和石英热违规行为，并最终提前灯泡故障。如果石英意外感动，清理了与异丙醇或丙酮清洗之前安装。

1.4.1.8照亮炉端插入对面的一面。

前灯是通过推，认真整顿所要推动通过领先。瞄准下管，推动通过对面的元素。当铅出现，用它轻轻工作灯通过。在紧张的情况下，一个木钉或坚硬的钢丝都可以使用。引线是贴在木钉（或硬线）。当通过插入到对岸，灯可以轻轻穿过由木钉（或硬线）。

1.4.1.9包装材料和陶瓷之间的灯对灯两端。

小心不要让包装材料的金属片覆盖，否则会导致标签过热（650华氏度最大。）。另外，不要让包装材料推入腔室的包装内将包括灯泡和灯管几乎立即引起倦怠材料。

1.4.1.10确认灯居中0.03英寸，不要继续，直到它。灯，可能会导致早产，如果这是没有得到遵守。

1.4.1.11仔细包装上在同一方向旋转端子引线将螺母拧紧。

请确保有一个平垫圈首先，一个外星垫圈秒，最后螺母。1.4.1.12留出足够的松弛，防止其成为紧铅，使铅0.75英寸，约2厘米超过所需的时间。

1.4.1.13陶瓷僵局安装螺栓连接是有意松动。不要拧紧它，它就会断裂。

同样，使用两个扳手，一个以下及以上的领导之一，并拧紧。

1.4.1.14切掉多余的元素引线。

1.4.1.15复检，可以肯定，绝缘不覆盖或终端。这是至关重要的。1.4.2运输网带更换

当更换运输带，这将是有帮助的一个助手提供。

1.4.2.1放置在炉和东方高考结束带卷起来，如图所示

下文。

图1.4.2.1带定位

1.4.2.2延长棒长棒或通过炉腔，小心不要损坏灯或保温。

如果可能，使用旧的网带借鉴，通过搬迁期间的会议厅一拉电线。牢固地附着在带前缘的棒。小心地将通过从出口端炉带，而一个助理将展开，引导入炉带。

删除通过滚筒和滚筒驱动，如下图所示，1.4.2.3当带已通过炉膛拉，杆和线一拉电线。导线连接到带领先优势，通过拉带。图1.4.2.2网带安装

然后用手，直到带1.4.2.4继续通过拉电线系统驱动器使用的网带，路径是否完整。1.4.2.5接合带，如下所示。

图1.4.2.3插入带接头

1.5单元测试程序

这个程序是用来测试开放加热元件。

1.5.1所需设备

1连续性测试仪（欧姆表首选）23 / 8“框或开口扳手 3控制与元线路图

1.5.2测试程序

注意：这将是有帮助的助理执行这些测试时可用。

1.5.2.1过程

从炉中取出所有的力量，如果一个UPS或EPS为安装，找到并关闭本机。删除所有侧盖，完全暴露所有灯接头。作为一种参考电路图，找到连接母线在每个区域中的元素。母线是由铝，并连接到灯端子螺钉。开始在炉前，删除只带一母线（顶部和底部），注意到其中有码头的母线连接。用万用表在欧姆规模，并任技术员边炉，检查通过测量灯的每盏灯的终端电阻。如果电阻小于10欧姆，该元素是好的。

如果电阻较大，更换后，在本手册第3.3程序元素。接着，以同样的方式检查该区域的下半部分。经核实的顶部和底部灯，更换正确的端子母线，并拧紧所有的硬件。按照同一程序，请检查其他区域，一次一个，在整个炉。一旦单元已经被完全测试，更换的顶部和底部的炉盖子。打开了EPS / UPS的（如果是这样配备）和权力火候。使炉加热到所需温度，而且，接下来，运行配置文件核实无泄漏周围被替换的灯泡发生。该过程现在已完成。