厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法_导体浆料测试方法
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微电子技术用贵金属浆料测试方法
方阻测定
编制说明
(送审稿)
二OO七年五月月
厚膜微电子技术用电子浆料测试方法 方阻测定
一、工作简况
贵研铂业股份有限公司于2006年向上级主管部门提出修订GB/T 17473.3-1998国家标准的计划,2006年4月全国有色金属标准化技术委员会以有色标委(2006)第13号文下达该国家标准的修订任务,国家标准计划号为20062655-T-610,项目起止时间为2006年4月~2007年12月,技术归口单位为中国有色金属工业标准计量质量研究所,起草单位为贵研铂业股份有限公司。
本标准主要起草人:金勿毁、刘继松、陈伏生。
二、编制过程
本标准编写格式按照GB/T 1.1-2000进行编写。
GB/T 17473.3-1998从发布至今已有九年,在这九年中随着科学技术的进步及发展,不断有新的浆料品牌产生,也有一些旧的浆料产品被新浆料所替代,因此对浆料方阻的测定方法提出了更新、更准确的要求。如原标准中未对低温固化型浆料方阻的测试方法作出制定,现标准中增加了低温固化型浆料方阻的测定方法。
为满足客户对贵金属浆料的检测要求,特编制本标准作为供方和需方的质量检验依据。通过此次修订,使本标准能更好的体现供方的技术水平,满足需方的技术要求。
该标准的修订原则是以GB/T 17473.3-1998为基础,既考虑标准的先进性,又考虑标准的适用性和可操作性,并根据我国的实际情况,力求使该标准与国外先进标准接轨。
三、修订技术内容的说明
本标准与原标准相比,主要有如下变动:
1、将原标准名称修改为微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定
2、将原标准规定的范围修改为:本标准规定了微电子技术用贵金属浆料方阻的测试方法。
本标准适用于微电子技术用贵金属浆料方阻的测定。非贵金属电子浆料可参照本标准执行。
3、在原标准的原理中,将浆料用丝网印刷在陶瓷基片,经过烧结后,膜层在一定温度及其厚度、宽度不变的情况下……,修改为将浆料用丝网印刷在陶瓷基片或有机树脂基片上,经过烧结或固化后,膜层在一定温度及厚度、宽度不变的情况下……
4、增加有机树脂基片。
5、将原标准5.3修改为:5.3测厚仪
光切显微测厚仪:范围为0 ~5mm,精度为0.001mm。电子千分尺:范围为0 ~5mm,精度为0.001mm。
四、与现行法规、标准的关系
本标准完全满足现行国家法规的要求,与现行标准相比,适用浆料产品更广、技术参数要求更合理,格式更规范,建议用修订后的标准代替GB/T 17473.3-1998。
五、参考标准
GB/T 17473.3-1998 《厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定》 GB/T2421 电子电工产品基本环境试验规程 总则 GB/T8170 数值修约规则
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