真空镀膜工艺的原理与实践实验报告_真空镀膜的实验报告

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实验报告

实验名称：真空镀膜工艺的原理与实践

实验目的：了解真空镀膜的工艺原理和过程，拓展学生视野锻炼其动手能力。实验装置：本实验采用北京中科科仪生产的SBC-2型多功能试样表面处理机，该处理机是为扫描电镜和电子探针等进行试样制备的设备，可进行真空蒸碳、真空镀膜和离子溅射，它也可以在高纯氩气的保护之下进行多种离子处理。用本设备处理的试样既可用于样品的外貌观察又可以进行成分分析，尤其是成分的定量分析更为适宜。本仪器装有分子泵，分子泵系统特别适用于对真空要求高、真空环境好的用户选用。

实验方案及操作：

1.按真空镀膜零部件图（图1）安装所需零部件，其中试样放在样品杯上

2.在金属蒸发头电极上接上钨丝加热器，将钨丝做成Ⅴ型。

3.将待蒸发物缠到钨丝上。

4.接金属蒸发头引线，盖上钟罩，对钟罩抽真空使其真空度达到 7×10-1 ―1.0×10-2Pa。

5.把“蒸发电极选择开关”（8）选取在钨丝所置的电极序号上。

6.按动“档板按钮开关”（12），当挡板处于挡住位置时，立即松开。

7.打开“试样旋转开关”（10），调节“试样转速调节”旋钮（11），使它以适当的速度旋转。

8.旋转 “加热电流调节” 旋钮（9），使钨丝加热呈赤红状态，镀膜物质开始熔融后，退去加热电流。

9.按动“档板开关按钮”（12），使挡板打开。

10.进一步旋转 “加热电流调节” 旋钮（9），使加热器呈发光状态。

11.当镀膜物质全部蒸发完后，使“蒸发电极选择开关”（8）、“加热电流调节”（9）、“试样旋转开关”（10）、“档板开关按钮”（12）等复位到 “0” 处或关闭。

12.按“放气按键”（4），对钟罩内放气，取出试样。

※ 每次蒸镀金属完毕，一定将零件垫片、垫块、垫柱、有机玻璃螺钉、玻璃罩等上的残余金属膜完全清洗干净，或者在蒸镀时对其进行遮盖保护，使其不被蒸上金属，否则金属膜将影响离子处理时加高压

实验结果：

1样品被镀上被蒸发金属，并且样品表面的金属光泽随镀层厚度的增加而逐渐呈现出镀层j金属的光泽。

2玻璃罩，电极柱，垫片和垫柱等因被镀上金属而呈现黑色。

实验感想：通过这次实验，我了解了相关技术，见识了许多高科技仪器，增长知识，了解科技前沿相关领域。这对我日后专业研究方向有指导作用。实验中，我了解到有关真空镀膜的相关工艺，实验外部条件的重要性。