真空管车间镀膜工序日常工作注意事项_生产车间工序注意事项

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真空管车间镀膜工序日常工作注意事项

镀膜工序主要是把上道清洗工序流转到本工序的内管装进镀膜机内进行溅射镀膜。然后装入外管中，流传到下一道封口工序。；职责：

1.1组长负责全面工作，重点检查卫生、工具定置管理、交接班记录、设备运行记录等，重点负责检测镀膜管的溅射质量情况。

1.2工艺运行过程中要时常观测运行情况。

2；交接班要求如下：

2.1检查所有设备是否运转正常，有无损坏。

2.2检查镀膜工艺设定是否与工艺记录单填写相符。

2.3检查交接班记录、设备运行记录、日报表填写是否属实。

2.4检查上道清洗工序所留存的白管是否干净，环口是否有无质量问题。

2.5检查所留待封管有无质量问题。

2.6检查必备工具是否齐全，物品摆放是否到位。

2.7检查氮氩气、循环水等主要注意事项是否符合要求。

2.8检查卫生和定置管理是否达到要求，坏管、废管是否清理干净。

3；工作流程

3.1第一检查上工序流转的管子质量。

检验清洗工序流转到镀膜工序管子质量有无问题：主要检验管子的环口整齐度，内管外壁是否干净、有无划伤、划膜、划痕，结石和气线是否超标，有无磕碰炸裂，外管是否掉嘴。卡子是否端正。对检验出的不合格管做好标识，分清责任，退回上一工序，检验质量时，一定戴一次性手套，不允许用手直接接触管子。

3.2第二步镀膜

将检验合格后的管子拉到镀膜机前等待装机。镀膜员工在往镀膜机内装管时，不能用手直接接触管壁，必须戴汗布手套和一次性手套，将镀膜机转速控制在1.0以下，将内管装入镀膜机后，关好门，按下“自动键”观察门锁开关是否开启，确定镀膜机门被抽至真空后，方可离开。在溅射镀膜时注意观察靶心和转架旋转情况。经常注意观察靶水的热度，如果烫手，需立即停止溅射。镀膜工艺运转完毕后，设备自动放气，开门。开门后，检查管子的颜色是否合格、上下颜色是否一致，管口变浅区是否超长。有无转架划膜情况，把不合格品挑出。若整炉管子都不合格，则需通知工艺员调整工艺，或待下一炉观察异

常状况，管子不允许重镀。合格则取出装入上一工序流转到本工序的带卡子的外管中。

3.3第三步内外管装配

装管时要用防划布套，操作时要仔细认真，不允许投机取巧。

3.4第四步自检

检查装好后的待封管有无质量问题，环口是否有缺损、卡子是否端正、有无双卡现象。检查完毕后，放入周转车转到封口工序。

4；注意事项

4.1如遇到突然停水时应立即停止溅射，关闭扩散泵，将扩散泵下的电炉抽出，人工用抹布蘸冷水降至室温。

4.2不能长时间的用机械泵预抽真空室，减少机械泵油蒸汽对镀膜室的污染。

4.3经常观测靶材消耗情况，靶心极端凹坑直径小于57mm时，开始更换新靶。

4.4一次性手套只能使用一次，禁止重复使用，有水、有油的一次性手套不能使用。

4.5经常观察氮、氩气的使用情况。

4.6经常观察机械泵、维持泵皮带的磨损状况，防止泵突然停转，引起室内返油。