半导体工艺实习心得体会_子工艺实习心得体会

2020-02-29 工作心得体会 下载本文

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半导体工艺实习心得体会

12023110 王宁

这是我们第一次参加工艺实习,这让我不免有些好奇和激动。

记得大一新生研讨课的时候参观过我们的工艺实习间,这次又来,故并没有感到这个工艺间很陌生。说实在的,就在进入工艺间并换好行头后,自己真的有种要兢兢业业干一番事业的感觉了,但在之后的对准练习这个环节,我深深的怀疑了自己的能力。

由于组内男生较多,所以很多体力活他们都主动承担了,特别感谢他们。组长主动担任起最危险的煮王水的这一道工艺,细心的李军和魏行则进入光刻间进行光刻和甩胶的任务。记得我第一次尝试光刻对准这道工序的时候,对的一点都不准,之后对照着老师对准的模版,才把握住这道工艺的要领,笨鸟就要多练习,渐渐的我在练习中也增长了经验。

甩胶这一步,首先是自己不能紧张,手越抖,胶就越不能滴准到吸盘的正中心,也就甩不均匀。而且一定要心细,时刻注意保护光刻胶,不能让它曝光。接着就是扩散的工艺,因为加热设备温度能达到上千度,炉口的温度也很高,所以在送、取硅片的时候都要在高温下保持住平稳,这样硅片才能正正的放进炉中。

工艺实习虽然很短暂,但就在这么短暂的两天的时间里,真的要比在课堂上听两天的课学到的多。

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